掩膜版是什么

時(shí)間：2022-05-03作者：北京華諾恒宇光能科技有限公司瀏覽：2064

掩膜版是什么

業(yè)內(nèi)又稱光掩模版、掩膜版，英文名稱 MASK 或 PHOTOMASK），材質(zhì)：石英玻璃、金屬鉻和感光膠，該產(chǎn)品是由石英玻璃作為襯底，在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠，成為一種感光材料，把已設(shè)計(jì)好的電路圖形通過(guò)電子激光設(shè)備曝光在感光膠上,被曝光的區(qū)域會(huì)被顯影出來(lái)，在金屬鉻上形成電路圖形，成為類似曝光后的底片的光掩模版，然后應(yīng)用于對(duì)集成電路進(jìn)行投影定位，通過(guò)集成電路光刻機(jī)對(duì)所投影的電路進(jìn)行光蝕刻，其生產(chǎn)加工工序?yàn)椋浩毓?，顯影，去感光膠，最后應(yīng)用于光蝕刻。

結(jié)構(gòu)

實(shí)體結(jié)構(gòu)：布滿集成電路圖像的鉻金屬薄膜的石英玻璃片上的圖像。

倍縮光掩模（Reticle）：當(dāng)鉻膜玻璃僅能局部覆蓋晶圓稱為倍縮光掩模，通常圖型要放大4倍、5倍或10倍。

光掩模（Mask）：當(dāng)鉻膜玻璃上的圖像能覆蓋整個(gè)晶圓時(shí)稱之為光罩。

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• 詞條

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