殘余氣體分析儀應用于高溫真空爐, 實現(xiàn)質(zhì)量保證和過程優(yōu)化

時間：2023-04-12

殘余氣體分析儀應用于高溫真空爐, 實現(xiàn)質(zhì)量保證和過程優(yōu)化
上海伯東某客戶生產(chǎn)研發(fā) X 射線管及組件, 使用德國 Pfeiffer Hicube RGA 殘余氣體分析儀與高溫真空爐連接, 測試產(chǎn)品在不同溫度下?lián)]發(fā)的產(chǎn)物變化, 進一步分析產(chǎn)品的耐用性以及使用形態(tài). 實現(xiàn)真空過程相關的質(zhì)量控制, 滿足 X 射線管工藝要求.

殘余氣體分析儀質(zhì)量保證和過程優(yōu)化
諸如提供氣體成分定量測定, 確定過程氣體純度, 以及監(jiān)測高溫真空爐工藝過程相關氣體成分等能力, 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 是過程記錄和質(zhì)量保證中的重要工具. 即使測量正在執(zhí)行, 所有測量值也會得到存儲, 并且可以在不停止測量的情況下追蹤. 即使仍在執(zhí)行測量, 也可以導出測量結果以進行進一步分析.

上海伯東 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 進樣口為 DN16 ISO-K 標準真空法蘭, 可以根據(jù)客戶需求, 選擇不同的連接接口, 通過調(diào)整 EVN 116 氣體計量閥實現(xiàn)進樣, 進樣氣體流量可調(diào)整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s.

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 Hicube RGA 技術規(guī)格

渦輪分子泵組	HiCube? Eco
功耗	170W
電壓（范圍）	110 - 240 V; 50 / 60 Hz
氮氣抽速	67 l/s
前級泵在 50 Hz 時的泵送速度	1 m3/h
限真空	<1X10-7 hPa
真空計	PKR 361
測量范圍	1X10-9 至 1X103 hPa
閥門	EVN 116
氣體流量	可調(diào)整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s
進氣口	DN 16 ISO-KF

PrismaPro	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1	QMG 250 M2	QMG 250 M3
檢測器	法拉* Faraday (F)			電子倍增器/法拉* C-SEM/Faraday (M)
質(zhì)量數(shù) amu	1–100	1–200	1–300	1–100	1–200	1–300
四桿直徑／長度	6 /125 mm
小檢測限 F hPa *1,2	4X10-13	5X10-13	7X10-13	-	-	-
小檢測限 M hPa *1,2	-	-	-	3X10-15	4X10-15	5X10-15
對Ar的靈敏度 F A/hPa*3	5X10-4	4X10-4	3X10-4	5X10-4	4X10-4	3X10-4
大工作壓力 F hPa	5X10-4
大工作壓力 M hPa	-	-	-	5X10-5	5X10-5	5X10-5
對臨近質(zhì)量數(shù)的影響*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm
操作溫度分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作溫度電子	5 – 50 °C
烘烤溫度分析	300 °C
連接法蘭	DN 40 CF-F
保壓時間	1 ms – 16 s/amu
峰比值可重復性	± 0.5 %
接口	以太網(wǎng)
電源電壓	100–240 V AC，50/60 Hz
HiCube? RGA重量	25.5 - 26.2 kg

上海伯東銷售維修德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA. 四桿質(zhì)譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的搭配, 質(zhì)量數(shù)范圍 1-300, 高分辨率和靈敏度. 適用于殘余氣體分析, 過程監(jiān)測, 泄漏檢測.

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