特氣五項(xiàng)檢測的流程及意義

時(shí)間：2024-02-27作者：上海昉科儀器設(shè)備有限公司瀏覽：99

l 壓力測試

目的在于保證管道系統(tǒng)或設(shè)備連接在設(shè)定測試壓力的條件下保持沒有泄露點(diǎn)。

壓力測試包括壓強(qiáng)測試和氣密性測試：

1) 壓強(qiáng)測試，沒有壓降@規(guī)定壓力*30分鐘，測試壓力為使用壓力的1.2倍；

2) 氣密性測試<=±1%壓降 @規(guī)定壓力*24小時(shí)，測試壓力為使用壓力的1.1倍；

測試的工具可以由以下方式進(jìn)行：

1) 壓力表讀數(shù)；

2) 圓盤壓力儀；

壓力測試結(jié)果會受溫度的影響，在測試過程中要注意溫度的變化及對溫度的紀(jì)錄，如溫度偏差較大，則需要進(jìn)行必要的補(bǔ)償修正計(jì)算。

l 氦檢漏測試

目的在于保證管道系統(tǒng)焊道或設(shè)備連接在負(fù)壓作用下合乎漏率的要求。

氦檢漏測試目前有3種方式，針對我們特氣的系統(tǒng)，通常采用真空噴氦的方式。

測試儀器：氦檢儀

真空度漏率：cc.atm/sec  或mbar.L/s

漏率的意義：

1.0*10^-5 cc.atm/sec          1 cc/day

1.0*10^-7 cc.atm/sec          3 cc/year

1.0*10^-9 cc.atm/sec          3 cc/100year

通常特殊氣體的漏率我們要求在1.0*10^-9 cc.atm/sec以上；

氦檢測試完成后，對工藝管道進(jìn)行充壓，以避免系統(tǒng)負(fù)壓吸入大量不純物；充壓氣體為高純氣體，回充后壓力宜為10~15psi，這時(shí)才可以斷開被測管道。

l 顆粒測試

目的在于保證管道系統(tǒng)或設(shè)備的內(nèi)壁或者死角無影響制程的顆粒雜質(zhì)。

顆粒測試的原理：被測氣體通過測試儀器時(shí)，如果氣流中有顆粒(該顆粒在測試儀器可以監(jiān)控的范圍內(nèi))，測試儀器會通過內(nèi)部的產(chǎn)生的激光照射該取樣氣體，再通過內(nèi)部的計(jì)數(shù)裝置進(jìn)行分類計(jì)數(shù)，從而得出該取樣氣體的顆粒測試值。

測試儀器顯示的測試規(guī)格值有8個(gè)(um)：0.1，0.2，0.3，0.5，1.0，2.0，3.0，5.0；

測試取樣：0.1scfm;(10分鐘/次)

測試值單位：？pcs/scf >？μm

顆粒測試值取增量，所以對吹掃氣源有一定的要求。

l 水分氧分測試

目的在于保證管道系統(tǒng)或設(shè)備的內(nèi)壁或者死角無影響制程的水分和氧分。

高純系統(tǒng)的水分和氧分測試的單位：ppb(10^-9),即每立方米被測試氣體中只有十億分之一立方米被測不純物；

不純物測試過程中，當(dāng)測試顯示值合乎測試標(biāo)準(zhǔn)并保持20分鐘不變或者持續(xù)穩(wěn)定下降，則可以認(rèn)定合格。如果測試顯示值仍然在上升，即使顯示值規(guī)定值也不能認(rèn)定合格。

水分和氧分測試值取增量，所以對吹掃氣源有一定的要求。

水分測試取樣氣體的流量為200SCCM，測試儀器開機(jī)后需要升溫到60℃采能正常工作(這時(shí)一個(gè)波動(dòng)的過程)；

氧含量測試取樣氣體的流量為1SLPM。

 


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• 特氣五項(xiàng)檢測的流程及意義

  l?壓力測試目的在于保證管道系統(tǒng)或設(shè)備連接在設(shè)定測試壓力的條件下保持沒有泄露點(diǎn)。壓力測試包括壓強(qiáng)測試和氣密性測試：1)?壓強(qiáng)測試，沒有壓降@規(guī)定壓力*30分鐘，測試壓力為使用壓力的1.2倍；2)?氣密性測試<=±1%壓降 @規(guī)定壓力*24小時(shí)，測試壓力為使用壓力的1.1倍；測試的工具可以由以下方式進(jìn)行：1)?壓力表讀數(shù)；2)?圓盤壓力儀；壓力

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