【油擴(kuò)散泵抽利】油擴(kuò)散泵的主要問題

時(shí)間：2021-06-10作者：深圳市彩之佳塑膠原材料有限公司瀏覽：275

油擴(kuò)散泵的主要問題





油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)的污染物來源：
(1)擴(kuò)散泵油蒸汽的返流。這是較重大的污染源。
(2)系統(tǒng)中的零部件，在裝配時(shí)用有油的手拿。用有油污的手套拿，這樣粘染的**分子可以造成系統(tǒng)內(nèi)的污染。
(3)前級(jí)油封機(jī)械泵油的返流。這個(gè)問題也很嚴(yán)重，當(dāng)入口壓力較高時(shí)，在達(dá)到過渡區(qū)(1～10-1Pa)壓力時(shí)，機(jī)械泵的油蒸汽即可直接進(jìn)入擴(kuò)散泵內(nèi)，對(duì)系統(tǒng)直接進(jìn)行污染。很多真空工藝過程的污染來自機(jī)械泵返油。當(dāng)停機(jī)械泵時(shí)如不及時(shí)向泵內(nèi)放大氣，機(jī)械泵油可直接返到擴(kuò)散泵油鍋內(nèi)。當(dāng)擴(kuò)散泵起動(dòng)時(shí)對(duì)系統(tǒng)的污染為嚴(yán)重。
(4)抽氣系統(tǒng)中密封材料的放氣造成的污染。特別是人造橡膠密封圈，密封油脂，潤(rùn)滑油等，也同樣造成嚴(yán)重的污染。
(5)當(dāng)停泵后放大氣時(shí)，使真空零部件在空氣中粘污上水蒸汽，油煙等，造成對(duì)真空系統(tǒng)的污染 [2]  。





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