【晶圓切割】晶圓切割有哪幾種方法

時(shí)間：2021-05-06作者：北京華諾恒宇光能科技有限公司瀏覽：395

晶圓切割有哪幾種方法
     現(xiàn)階段，硬脆材料切割技術(shù)主要有外圓切割、內(nèi)圓切割和線銘切割。外圓切割組然操作簡(jiǎn)單，但據(jù)片剛性差，切割全過(guò)程中鋸片易方向跑偏.造成 被切割工們的平面度差:而內(nèi)圓切割只有進(jìn)行直線切割.沒(méi)法進(jìn)行斜面切割.線鋸切割技術(shù)具備割縫窄、高效率、切成片*、可進(jìn)行曲線圖切別等優(yōu)點(diǎn)成為口前普遍選用的切割技術(shù)。




內(nèi)圓切割時(shí)晶片表層損害層大，給CM P產(chǎn)生挺大黔削拋光工作中較:刃口寬.材料損害大.品片出率低:成木高。生產(chǎn)效率低:每一次只有切割一片.當(dāng)晶圓直徑達(dá)到300 mm時(shí).內(nèi)圓刀頭外徑將達(dá)到1.18 m.內(nèi)徑為410 mm.在生產(chǎn)制造、安裝與調(diào)節(jié)上產(chǎn)生許多艱難.故后期主要發(fā)展趨勢(shì)線切別主導(dǎo)的晶圓切割技術(shù)。

金剛石線鋸足近十幾年來(lái)得到 *發(fā)展趨勢(shì)的硬脆材料切割技術(shù).包含自由助料線鋸和固結(jié)耐磨材料線鋸兩大類(lèi)。依據(jù)鋸絲的運(yùn)動(dòng)方式和機(jī)冰構(gòu)造.又可分成往復(fù)式和單邊(環(huán)狀)線鋸。

現(xiàn)階段在光電材料工業(yè)生產(chǎn)中，應(yīng)用較為普遍的是往復(fù)式多線鋸晶圓切割。





北京華諾恒宇光能科技有限公司專注于北京晶圓切割,北京濾光片,北京生物芯片等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 石英玻璃有哪些特性

  石英玻璃有哪些特性石英玻璃片，一般是由石英玻璃切割磨制而成，石英玻璃既可以透過(guò)遠(yuǎn)紫外線，也是透紫外材料較優(yōu)者，可透過(guò)可見(jiàn)光能夠近紅外光譜。石英玻璃具有耐高溫，以及熱膨脹系數(shù)非常小等特性，具有很好的化學(xué)穩(wěn)定，其中氣泡、均勻性、條紋、雙折射可同一般光學(xué)玻璃媲美，石英玻璃可在各種惡劣場(chǎng)合下工作，是具有高穩(wěn)定度，是光學(xué)系數(shù)的**的光學(xué)材料。石英玻璃的特性1、耐高溫性：石英玻璃具有耐高溫型，它的軟化點(diǎn)溫

• 解讀光學(xué)玻璃的制造流程

  原料的混和電子光學(xué)玻璃跟據(jù)光學(xué)特點(diǎn)可以分成約230種。生產(chǎn)制造電子光學(xué)玻璃時(shí)采用的原料大概有70種。為生產(chǎn)制造一種電子光學(xué)玻璃一般應(yīng)用5-15種原料以數(shù)十kg或數(shù)百公斤為企業(yè)混和。關(guān)鍵的原料有硅礦、硼酸、氧化鑭、氧化鈰、空氣氧化鈮、氧化鋯陶瓷、鋇、鉀等高純?cè)?。熔化混和好的原料放進(jìn)石英坩堝里開(kāi)展**次熔化，將其融化成玻璃。將通過(guò)粗熔解的玻璃放進(jìn)鉑金鉗鍋制宣布熔解爐里開(kāi)展熔解。熔化溫度達(dá)到1200-

• 常見(jiàn)的光學(xué)玻璃有哪些

  常見(jiàn)的光學(xué)玻璃有哪些1、無(wú)色光學(xué)玻璃對(duì)光學(xué)常數(shù)有特定要求,具有可見(jiàn)區(qū)高透過(guò)、無(wú)選擇吸收著色等特點(diǎn)。按阿貝數(shù)大小分為冕類(lèi)和火石類(lèi)玻璃，各類(lèi)又按折射率高低分為若干種，并按折射率大小依次排列。多用作望遠(yuǎn)鏡、顯微鏡、照相機(jī)等的透鏡、棱鏡、反射鏡等。2、防輻照光學(xué)玻璃對(duì)高能輻照有較大的吸收能力，有高鉛玻璃和CaO-B2O2系統(tǒng)玻璃，前者可防止γ射線和X射線輻照，后者可吸收慢中子和熱中子，主要用于核工業(yè)、醫(yī)學(xué)

• 【玻璃基板激光盲孔加工】陶瓷基板激光加工技術(shù)

  陶瓷基板激光加工技術(shù)?????伴隨著材料技術(shù)的發(fā)展，在科研應(yīng)用和工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域中，陶瓷基板因?yàn)槠鋬?yōu)越的物理化學(xué)性能得到了越來(lái)越多的應(yīng)用。無(wú)論是精密的微電子，或者是航空船舶等重工業(yè)，亦或是老百姓的日常生活用品，幾乎所有領(lǐng)域都有陶瓷基板的身影。然而，陶瓷基板結(jié)構(gòu)致密，并且具有一定的脆性，普通機(jī)械方式盡管可以加工，但是在加工過(guò)程中存在應(yīng)力，尤其針對(duì)一些厚度