ATL Lasertechnik紫外線光源~ATLEX-S

    天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷德國ATL Lasertechnik紫外線光源ATLEX-S

    產(chǎn)品型號:ATLEX-S

    關(guān)鍵字:ATL Lasertechnik紫外線光源ATLEX-S

    關(guān)鍵字描述:ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源,專為中低占空比S應用而設計。

    產(chǎn)品介紹:

    **緊湊的尺寸

    軟電暈預電離

    高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器

    激光頭體積<3l

    TMC(全金屬陶瓷)容器

    集成真空泵和鹵素過濾器

    完全風冷,主動熱管理

    RS-485,RS232,USB和光纖接口,用于系統(tǒng)集成

    可沖洗光學支架

    能量穩(wěn)定模式

    ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源,專為中低占空比S應用而設計。

    參數(shù):

    氣體介質(zhì) ArF KrF

    波長 nm 193 248

    高壓開關(guān)技術(shù) 固態(tài)開關(guān) 固態(tài)開關(guān)

    重復率max. Hz 300 500 300 500

    脈沖能量max. mJ 10 10 15 15

    平均功率max. W 2.4 4 4 6

    脈沖持續(xù)時間 ns 5-8

    光束尺寸(V x H) mm 4 x 6

    光束發(fā)散角(V x H)mrad 1 x 2

    能量穩(wěn)定性(標準偏差)% < 3

    尺寸(長x寬x高)mm 630 x 400 x 300

    重量 kg 65

    冷卻 空氣

    電源要求 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz

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