LaserOptik對大型光學器件鍍膜技術

時間：2022-07-15

LASEROPTIK使用專門的設備對大型光學器件進行電介質鍍膜，樣品的長度可達2米（長軸為矩形）或直徑為550毫米（圓形），在整個表面具有**的光譜均勻性和高LIDT值。自動超聲波和手動清洗程序保證了即使在這些大規(guī)模的幾何形狀上也有較佳的清潔度。下表列出了可能的尺寸。

鍍膜技術	矩形長軸	矩形短軸	圓形
IBS	2000mm	250mm	550mm
IAD	1200mm	100mm	350mm
EBE	940mm	80mm	500mm

*在長軸的給定較大值下，可以用較短的長軸來做大

涂層的均勻性是工業(yè)激光器應用的一個關鍵因素，例如，用于激光光束擴展和傳輸系統(tǒng)。涂層設計、機器的內部結構和原位過程控制有助于將梯度效應降到較低。均勻性也可以適應曲率半徑，例如使用圓柱形透鏡。

大面積矩形鍍膜

對于矩形的基材，無論是平面的還是彎曲的，LASEROPTIK可以通過使用離子束濺射（IBS）為世界上較大的激光鏡鍍膜（長度可達2000毫米）。這種方法通常以生產較高質量的薄膜而**，但只是在小范圍內。然而，通過重新定義一個**的基片運動，LASEROPTIK發(fā)現(xiàn)了一種用于長距離光學鍍膜的*特方法，并已獲得**。目前，已經有兩臺定制的機器能提供這種*特的工藝。

對于長度達2000毫米的光學器件，中心波長的差異可以達到±1%以下。下面的8條測量曲線顯示了一個大型光學器件（長軸>1300毫米）的優(yōu)異均勻性，該光學器件上涂有IBS寬帶AR。

大型光學元件上的IBS涂層的均勻性（BBAR342-412nm/0°）

大面積圓形鍍膜

與矩形基材一樣，如果是標準的涂層要求，圓形光學器件也可以用IAD和EBE進行涂層。當涉及到復雜的鍍膜設計和**的光譜性能時，就只能使用IBS進行鍍膜。LASEROPTIK有商業(yè)化的鍍膜系統(tǒng)，適用于直徑400毫米以下的基材、在運行中可以達到直徑550毫米的定制機器，或者適用于載體行星上的矩形裝配鍍膜。

這些專門的機器還可以使用三種或更多的涂層材料來進行鍍膜，這對在實現(xiàn)較高LIDT的**薄膜設計有很大幫助。這種鍍膜技術對于高能量的激光研究，也就是所謂的petawatt和激光核聚變項目至關重要。大型圓形光學器件的另一個常見用途是引力波研究。探測器的靈敏度取決于端面鏡的**程度，也就是說，必須將總損耗和布朗噪聲降到較低才能實現(xiàn)這一點。因為IBS的低損耗涂層符合陀螺儀應用的標準，所以IBS非常適合應用在引力波研究。

為支持這一創(chuàng)新設備，我們建立了獨立的無塵室環(huán)境，有專門的檢測計量、光學清洗和退火解決方案。它是一個專門處理大型圓形和矩形光學器件的部門的一部分，它能滿足對LIDT、低損耗和光譜性能的較高要求。

對整個尺寸進行空間分辨的質量檢查，以檢查表面缺陷和光譜性能，包括干涉檢查。大型光學器件被放置在定制的起重或搬運工具中，用于檢查、運輸和固定在鍍膜機上。

“Teresa”，較大的IBS機器，適用于較大?550mm的基材

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詞條
詞條說明
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