半自動(dòng)晶圓減薄前貼膜機(jī)STK-6020可自動(dòng)拉膜和貼膜

時(shí)間：2021-04-20作者：深圳市衡鵬瑞和科技有限公司瀏覽：19

半自動(dòng)晶圓減薄前貼膜機(jī)STK-6020可自動(dòng)拉膜和貼膜




半自動(dòng)晶圓減薄前貼膜機(jī)STK-6020規(guī)格：
晶圓尺寸：8”& 12”晶圓；
常規(guī)產(chǎn)品厚度：200~750 微米；
Bump 產(chǎn)品厚度：晶圓 200～400 微米；
                         凸塊 50～200 微米；
晶圓翹曲：≤5mm； 
晶圓種類：硅, 砷化鎵或其它；
                單平邊，V 型缺口；
膠膜種類：藍(lán)膜或者 UV 膜；
                寬度：240~340 毫米；
                長度：100 米；
                厚度：0.05~0.2 毫米；
貼膜原理：防靜電滾輪貼膜；
滾輪溫度：室溫～80 攝氏度；
貼膜動(dòng)作：自動(dòng)拉膜和貼膜；
晶圓臺(tái)盤：二合一特氟隆防靜電涂層接觸式臺(tái)盤，或硅膠臺(tái)盤臺(tái)盤溫度：室溫～100℃；
裝卸方式：晶圓手動(dòng)放置與取出；
切割系統(tǒng)：*特的手動(dòng)可調(diào)整環(huán)形切刀，適用于不同的晶圓外形，刀頭帶獨(dú)立加熱機(jī)構(gòu)，無任何飛邊并省去修邊；
                *特的手動(dòng)直切刀，為世界較省膜的設(shè)計(jì)；切割刀溫度：MAX達(dá) 150℃；
晶圓定位：通用標(biāo)線/彈簧銷釘；
控制單元：基于 PLC 控制，并帶 5.7”觸摸屏；
安全防護(hù)：配置緊急停機(jī)按鈕；
電源電壓：相交流電 220V,10A； 
壓縮空氣：5 公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2.5 立方英尺；
機(jī)器外殼：白色噴塑金屬外殼；
體積：670 毫米(寬)*1180 毫米(深)*550 毫米(高)； 
凈重：85 公斤；


半自動(dòng)晶圓減薄前貼膜機(jī)性能：
晶圓收益：≥99.9%； 
貼膜質(zhì)量：沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）；
每小時(shí)產(chǎn)能：≥ 30~70 片晶圓；
更換產(chǎn)品時(shí)間：≤ 5 分鐘


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