FFU系統(tǒng)的應(yīng)用 3.1當(dāng)前FFU的情況 FFU在使用壽命及維護(hù)上已經(jīng)實(shí)踐證明無可擔(dān)心。當(dāng)前其改進(jìn)主要是: (1)采取均流及減少噪音的措施,噪音可在50db以內(nèi); (2)電動(dòng)機(jī)采用DC/EC(電子整流電機(jī)),以耗較原交流電機(jī)節(jié)約近50%,因?yàn)樾★L(fēng)機(jī)所用小容量(功率<1/2HP)的交流電機(jī),一般皆為電容分相式或隱較式,其效率僅40%左右,而DC/EC電機(jī)的效率可達(dá)75~80%;在調(diào)速控制上可每臺(tái)單獨(dú)的以過濾器降壓進(jìn)行控制以節(jié)約能耗,但目前投資回收期尚長而未廣泛采用,一般常用分組群控或全部群控。 (3)但FF瓣出口靜壓不能過大,一般采用出口風(fēng)速成0.38m/s,此時(shí)其靜壓一般在250Pa以內(nèi)。 3.2FFU回風(fēng)系統(tǒng)與其他方式相比的優(yōu)點(diǎn) 3.2.1一般評(píng)價(jià) 優(yōu)點(diǎn): (1)靈活性大,便于改造; (2)占用建筑物空間較少; (3)潔凈室內(nèi)空氣壓力大于回風(fēng)靜壓室,排除靜壓室對(duì)潔凈室污染的可能性。 缺點(diǎn): (1)要求回風(fēng)道全部阻力(包括多孔地板、格柵及風(fēng)道)、干表冷器阻力及末級(jí)過濾器的阻力(在初阻力時(shí)),總共應(yīng)控制在165Pa左右,以滿足運(yùn)行時(shí)較大阻力在250Pa以內(nèi)。因此干表冷器的傳熱面積要較大,回風(fēng)道尺寸亦要較大,多孔地板及格柵等的阻力要小,一般作法是:控制干表冷器阻力在50Pa左右,回風(fēng)道阻力在15Pa以內(nèi),否則就需要再增設(shè)加壓風(fēng)機(jī)系統(tǒng),這就是降低了FFU系統(tǒng)的綜合優(yōu)點(diǎn)。 (2)采用DC/EC電機(jī)后,單位風(fēng)量的能耗可能比當(dāng)**般大型離心風(fēng)機(jī)的集中系統(tǒng)為低,但已有研究指出,比采用改進(jìn)后的大型軸流風(fēng)機(jī)的回風(fēng)系統(tǒng)的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風(fēng)機(jī)的效率提高及其系統(tǒng)的阻力降低的因素。 (3)一般FFU系統(tǒng)由于單位風(fēng)量的能耗較大,因此潔凈室的冷負(fù)荷亦相應(yīng)增加。 3.2.2具體情況下的評(píng)價(jià) (1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時(shí),其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。 (2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室,末級(jí)過濾器滿布率**時(shí),對(duì)大的系統(tǒng)采用FFU,當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的;對(duì)小系統(tǒng)有意義作具體比較。 (3)對(duì)潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室,末級(jí)過濾器滿布率≤40%時(shí)對(duì)大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多,但對(duì)IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的,因此當(dāng)前IC工廠對(duì)過濾器滿布率≤40%時(shí),采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。
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潔凈無塵車間為什么要控制溫濕度? ? ? 無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下, 可以選擇應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高, 必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中, 作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。 直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。24
彩鋼夾芯板的特點(diǎn) 常見的夾芯板:EPS夾芯板(泡沫夾芯板),巖棉夾芯板,PU夾芯板(聚氨酯夾芯板)。 常見的厚度:50mm, 75mm, 100mm, 150mm. 1.重量輕:10-14千克/平方米,相當(dāng)于磚墻的1/30。 2.隔熱保溫:芯材導(dǎo)熱系數(shù): λ<=0.041w/mk。 3.強(qiáng)度高:可作天花圍護(hù)結(jié)構(gòu)板材承重,抗彎抗壓;一般房屋不用梁柱。 4.色澤鮮艷:*表面裝飾,彩色鍍鋅鋼板
實(shí)驗(yàn)室裝修的標(biāo)準(zhǔn)有哪些,裝修應(yīng)注意什么
實(shí)驗(yàn)室裝修的標(biāo)準(zhǔn)有哪些,裝修應(yīng)注意什么 以使用功能為主進(jìn)行合理布局 ? ? ? ? ? ? 實(shí)驗(yàn)室搬遷改造公司表示,實(shí)驗(yàn)室的室內(nèi)環(huán)境,由于空間的結(jié)構(gòu)劃分已經(jīng)確定,在界面處理、家具設(shè)置、裝飾布置之前均應(yīng)以其內(nèi)部使用方便合理為依據(jù)進(jìn)行布置。 ? ? ? ? ? ? 按實(shí)驗(yàn)室的使用功能
懸浮分子污染(AMC) 4.1AMC的分類及控制要求情況 AMC作為IC工廠所關(guān)心的問題于20年前較先由日本人提出,近年來,IC生產(chǎn)園片直徑已達(dá)φ300mm,工藝加工尺寸(線寬)已小于0.15μm,在某些加工工序及工序間園片的傳送和存放環(huán)境中AMC已成為嚴(yán)重影響成品率的問題,已被清楚的認(rèn)識(shí)到,因此,AMC的控制已由談?wù)撧D(zhuǎn)到需要實(shí)施。 對(duì)于IC生產(chǎn),AMC分為A、B、C、D四類,即: A——酸性物質(zhì)
公司名: 廣東易兆凈化工程有限公司
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