HVA 真空閥門應用于E-Beam鍍膜機

    某 Sputtering + E-Beam PVD 鍍膜機系統(tǒng)采用 HVA 真空閥門 11000, HVA 真空閥門安裝在分子泵口便于泵的檢修,同時外系統(tǒng)停機時不破壞系統(tǒng)真空, 只要對泵內(nèi)部進行破真空即可.

    HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標準技術規(guī)格: 

     閥門材質(zhì):

     - 閥門主體

     304 不銹鋼

     - 焊接波紋管軸封

     AM - 350

     閥門密封方式

     - 高真空

     氟橡膠

     - 高真空

     銅墊圈 / 氟橡膠

     真空:

     - 壓力范圍

     高真空 1x10-9 mbar, 高真空 1x10-10 mbar

     - 漏率

     < 2x10-9  mbar l/S

     - 差壓關閉

     1 bar ( 任意位置 )

     - 開啟前大壓力

     ≤ 30 mbar

     烘烤溫度(不含電磁閥):

     - 彈性體密封閥蓋

     150°C

     - 金屬密封閥蓋

    -開啟溫度:200°C

    -關閉值:150°C

     - 驅動方式

     手動 60 °c, 氣動 60 °c

    機制

    手動:

    手搖曲柄

    電磁閥供電電壓

     120 VAC 50 /60 Hz

    電磁閥可選電壓

     24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
     或 12, 24 VDC

     電磁閥位置指示器,大

     115 VAC
     或 28 VDC, 20 mA

    氣動送風:

    80 psig

     使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實際使用情況決定)

     公稱通徑: DN 16 - 800 mm

      

    E-Beam 鍍膜機設備組成: 系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室, 電子, 進樣室 (可選) , 旋轉基片加熱臺, 工作氣路, 抽氣系統(tǒng), 真空測量, 電控系統(tǒng)及安裝機臺等部分組成.

     

    基片在做實驗般需要做鍍前預處理, 鍍前預處理的目的是為了得到干凈新鮮的金屬表面, 為后獲得高質(zhì)量鍍層作準備, 要進行脫脂, 去銹蝕, 去灰塵等工作, 也有客戶在 LOADLOCK 腔進行射頻反應清洗, 通過使用上海伯東 KRI 離子源將基片的表層打掉, 得到光滑和均勻的表面.

     

    若您需要進一步的了解詳細產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡方式 :

    上海伯東 : 羅女士


    伯東企業(yè)(上海)有限公司專注于pfeiffer,氦質(zhì)譜檢漏儀,inTEST等

  • 詞條

    詞條說明

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    氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340?真空鍍膜配氣面板檢漏上海伯東某客戶生產(chǎn)高純度特種氣體不銹鋼減壓閥門, 接頭, 管件, 這些配件主要用于集成在真空鍍膜配氣面板, 實現(xiàn)工藝氣體的傳輸. 為了防止氣體外泄, 除了閥門, 接頭, 管件需要單檢漏外, 整個配氣面板也需要測試整體漏率, 使用上海伯東德國 Pfeiffer?氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340, 真空模式下, 漏率設置為 5.5x

  • 上海伯東KRI 離子源在鍺基紅外鍍膜中的應用

    ? ? 紅外光學薄膜器件作為紅外系統(tǒng)重要組成部分,?已廣泛應用于航空航天、、環(huán)保、分析儀器等各個領域.?在紅外光學應用中,?由于鍺在2~14μm紅外波段內(nèi)有高而均勻的透過率,?是一種的優(yōu)良紅外光學材料.?鍺單晶切片加工成的鍺透鏡及鍺窗和利用鍺單晶透過紅外波長特性制成的各種紅外光學部件廣泛用于各類紅外光學系統(tǒng).?&nbs

  • 美國 HVA 高真空閥門簡介

    美國?HVA 真空閥門中國總代理上海伯東是美國?HVA 高真空和高真空閥門中國總代理!?HVA?是美國大的真空閥門制造商, 在美國有過四十年的歷史, 擁有6萬平方英尺的全自動加工工廠,?HVA?提供高質(zhì)量, 準確, 客制化的真空閥門. 無論是生產(chǎn)線升級, 還是新設備制造,?HVA?都能提供經(jīng)濟有效的閥門解決方案,

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