半導(dǎo)體真空腔體制造技術(shù)

時間：2024-08-13作者：鄭州克普斯機械設(shè)備有限公司瀏覽：123

半導(dǎo)體真空腔體制造技術(shù)

什么是半導(dǎo)體真空腔體制造技術(shù)?很多人對真空腔體并不了解，實際上真空腔體是指在材料制造、薄膜涂層、光學(xué)器件以及微電子中一種能適應(yīng)高真空環(huán)境的特殊容器.

復(fù)雜的真空腔體通常需要定制,即針對應(yīng)用終端進行專門的設(shè)計和制作。某些常見的真空腔體已經(jīng)過預(yù)先設(shè)計,如手套箱、焊接室、脫氣箱、表面分析真空腔等。例如脫氣箱和手套箱一般采用低真空環(huán)境,可用于焊接,或用于塑料制品、復(fù)合材料層壓板、封裝組件等的脫氣。

真空設(shè)備包含很多組件,如真空腔體,真空密封傳導(dǎo)件,視口設(shè)置,真空傳感器,真空顯示表,沉積系統(tǒng),蒸發(fā)源和蒸發(fā)材料,濺鍍靶材,等離子刻蝕設(shè)備,離子注入設(shè)備,真空爐,真空泵,法蘭,閥門和管件等。真空設(shè)備常用于脫氣,焊接,制備薄膜涂層,生產(chǎn)半導(dǎo)體/晶圓、光學(xué)器件以及特殊材料等。提供設(shè)備腔的定制服務(wù),腔體的外形和開口可以根據(jù)用戶要求進行設(shè)計。表面分析腔有通用腔體,用戶也可以在通用腔體的基礎(chǔ)上進行自定義設(shè)計。手套箱和焊接箱用于熔煉或焊接鈦、鋅等對易在大氣中氧化的材料。真空密封頸是基板和鐘形罩之間的過渡組件,它可以提供額外的高度和多的自由端口。裝載鎖定室是建在主腔體上的小腔體,可在不破壞主腔體真空度的條件下,將樣本、晶片或其他組件從外部大氣環(huán)境移動到內(nèi)部高真空環(huán)境中。表面分析腔有通用腔體,用戶也可以在通用腔體的基礎(chǔ)上進行自定義設(shè)計?？梢园凑照婵斩冗M行分類,包括粗或低真空度(< 760, > 1 torr),中真空度(< 1,>10-3 torr),高真空度(< 10-3, >10-8 torr),高真空度(< 10-8 torr),以及非真空的壓力 (> 760 torr)。真空腔的寬度和外徑等常規(guī)尺寸是非常重要的參數(shù)。標(biāo)準(zhǔn)鐘形罩或柱形腔體的可選直徑是12英寸,14英寸,18英寸和24英寸。真空腔體或者真空組件的可選項包括法蘭、裝配形式、表面拋光或電拋光、開口或傳導(dǎo)口,加熱器和冷卻方式等。
Ferrotec在真空中制造中的解決方案使用磁流體密封件作為在旋轉(zhuǎn)過程中真空解決方案。磁流體密封件可以隔絕大氣和污染物。
制備的石英用來制造視口及配件等組件,石英在許多其他加工工藝中也有使用。真空鍍膜可選Ferrotec的PVD電子束蒸發(fā)系統(tǒng)。
       復(fù)雜的真空腔體通常需要定制,即針對應(yīng)用終端進行專門的設(shè)計和制作。某些常見的真空腔體已經(jīng)過預(yù)先設(shè)計,臥式真空腔體加工公司,如手套箱、焊接室、脫氣箱、表面分析真空腔等。例如脫氣箱和手套箱一般采用低真空環(huán)境,可用于焊接,或用于塑料制品、復(fù)合材料層壓板、封裝組件等的脫氣。

以上是真空探針臺淺談半導(dǎo)體真空腔體制造技術(shù)




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