旋片式真空泵工作原理 旋片式真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用,也可以作為其它高真空泵或**高真空泵的前級(jí)泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、**、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。 旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,若附有氣鎮(zhèn)裝置,還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的,對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。 旋片泵是真空技術(shù)中較基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種。所謂雙級(jí),就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級(jí)的,以獲得較高的真空度。 旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下:在入口壓強(qiáng)為1333P轉(zhuǎn)時(shí),靠離心力和彈簧的張力使旋片*與泵腔的內(nèi)壁保持接觸,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。 兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,如圖所示。當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí),與吸氣口相通的空間A 的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹),氣體壓強(qiáng)降低,泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng),因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí),即轉(zhuǎn)至空間B的位置,氣體開始被壓縮,容積逐漸縮小,最后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體**過排氣壓強(qiáng)時(shí),排氣閥被壓縮氣體推開,氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)(低真空級(jí)),由低真空級(jí)抽走,再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排至大氣中,即組成了雙級(jí)泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級(jí)來負(fù)擔(dān),因而提高了極限真空度。
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詞條說明
真空泵溫度高的原因,真空泵電機(jī)溫度高的原因?以下是對(duì)真空泵電機(jī)溫度高的原因分析:?1原因分析?(1)電機(jī)功率大,工作電流大,發(fā)熱量大。?(2)風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低,風(fēng)壓,風(fēng)量小。?(3)風(fēng)扇葉片數(shù)較少,產(chǎn)生的風(fēng)量小。?(4)電動(dòng)機(jī)附有灰塵、油污,降低了散熱能力。?(5)真空泵電機(jī)所在母線電壓為380V,由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均,電機(jī)實(shí)際
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
旋片式真空泵使用說明:1、與泵聯(lián)接的管道不宜過長,且不宜小于泵的進(jìn)氣口徑。2、被抽氣體溫度不得**40℃,否則應(yīng)把氣體冷至常溫。3、含有較多塵埃的氣體則應(yīng)加以過濾,有腐蝕性及油起化學(xué)反應(yīng)之氣體則應(yīng)加氣體吸收及綜合裝置,如含水蒸氣過多,則應(yīng)加去濕裝置,以防止泵油弄臟,影響其真空性能及泵的使用壽命。4、泵云裝過程中油溫不能**70℃,在正常工作時(shí)應(yīng)聽到“嗒、嗒、嗒”之排氣聲,如有異聲或溫度驟升時(shí)應(yīng)停止
旋片式真空泵維修方法:1、在進(jìn)行真空泵維修之前,準(zhǔn)備好檢測手段。2、判斷故障,確診故障。判斷準(zhǔn),可省事。確診要驗(yàn)證。3、排除故障,先簡后繁,先易后難。無須拆卸的不拆。真空泵機(jī)組以減少由于缺少工具和操作不當(dāng)引起新的損傷,減少變化和跑合運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間。一般的說,拼接式轉(zhuǎn)子是不可拆卸的,否則形位公差就不保,轉(zhuǎn)子就報(bào)廢了。4、有毒有害、有腐蝕性的泵,應(yīng)請(qǐng)用戶清洗,并告知必要的防護(hù)措施,以**維修人員的健康。4.
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