單級旋片式真空泵 按性能特點和用途分類

時間：2021-11-21作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：154

按性能特點和用途分類




（1）低真空泵




泵的極限壓力**102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。




（2）中真空泵




極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。




（3）高真空泵




極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真空泵有各種擴(kuò)散泵及分子泵等。




（4）**高真空泵




極限壓力**10-5Pa的真空泵屬于**高真空泵。**高真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等。





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