等離子清洗機(jī)去除晶圓Wafer光刻膠

時(shí)間：2022-03-30作者：煙臺(tái)金鷹科技有限公司瀏覽：543

等離子清洗機(jī)能去除晶圓表面肉眼看不到的表面污染物，使得晶圓表面變得清潔并具親水性

芯片制作完成后殘余的光刻膠無(wú)法用濕式法清洗，只能通過(guò)等離子清洗機(jī)進(jìn)行去除，晶圓級(jí)封裝前等離子清洗機(jī)處理的目的是去除表面的無(wú)機(jī)物，還原氧化層，增加銅表面的粗糙度，提高產(chǎn)品的可靠性。



等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合，通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除**污染物、油污或油脂.




等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝上的應(yīng)用
等離子體清洗具有工藝簡(jiǎn)單、操作方便、沒(méi)有廢料處理和環(huán)境污染等問(wèn)題。等離子清洗機(jī)常用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應(yīng)系統(tǒng)中通入少量的氧氣,在強(qiáng)電場(chǎng)作用下,使氧氣產(chǎn)生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發(fā)性氣體狀態(tài)物質(zhì)被抽走。等離子清洗機(jī)在去膠工藝中具有操作方便、表面干凈、無(wú)劃傷、有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量等優(yōu)點(diǎn),而且等離子清洗機(jī)不用酸、堿及**溶劑等,





等離子清洗機(jī)對(duì)晶圓光刻膠的應(yīng)用：等離子清洗機(jī)的應(yīng)用包括處理、灰化/光刻膠/聚合物去除、介電質(zhì)刻蝕等等。使用等離子清洗機(jī)不僅去除光刻膠和其他**物，而且活化晶圓表面，提高晶圓表面浸潤(rùn)性。只需要通過(guò)等離子清洗設(shè)備的簡(jiǎn)單處理，就能將自由基將高分子聚合物去除干凈，包括在很深且狹窄尖銳的溝槽里的聚合物。達(dá)到其他清理方式很難完成的效果















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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 金屬等離子表面處理工藝，等離子清洗機(jī)

  等離子清洗機(jī)是一種中性的、無(wú)污染的干式工藝的等離子表面處理設(shè)備，省去了濕法化學(xué)處理工藝中所不可缺少的烘干，廢水處理等工藝，等離子清洗機(jī)既能清洗基體表面，又能對(duì)基體材料進(jìn)行表面改性，改善基材表面能、浸潤(rùn)性、活化等性能，等離子清洗機(jī)利用等離子體中高能粒子和活性粒子，通過(guò)轟擊或活化反應(yīng)作用達(dá)到去除金屬表面污物、灰塵和靜電、金屬表面改性、提高金屬表面的附著力、提高金屬表面抗腐蝕能力、提高金屬的硬度和磨損的

• 等離子清洗機(jī)在聚合物領(lǐng)域的應(yīng)用

  等離子清洗機(jī)可實(shí)現(xiàn)材料表面清潔、活化、材料的表面，提高其結(jié)合能力或賦予全新的表面性能。等離子清洗機(jī)具有提高材料表面親水性或疏水性、減少表面摩擦等作用。等離子清洗機(jī)能處理多種材料，可以清潔能清除看不見(jiàn)的油膜、微小銹斑以及其他因使用者與戶外接觸等原因而在表面形成的此類污物。等離子體清洗機(jī)的表面處理可以增加被處理材料的表面粗糙度，從而提高材料的印染性能。經(jīng)過(guò)等離子體處理后的聚合物材料，可以改變表面濕度，

• 等離子清洗機(jī)在汽車制造中的應(yīng)用

  等離子處理設(shè)備在汽車車燈制造工藝中的應(yīng)用： 幾乎所有前照燈都使用膠粘，來(lái)滿足配光鏡與殼體之間防漏的要求，膠粘分熱熔膠及冷膠，它們有各自的特點(diǎn)。等離子清洗機(jī)在汽車車燈粘接工藝中應(yīng)用，粘接牢固，防塵，防潮，等離子清洗機(jī)的表面活化非常有效而且均勻，所處理的表面上不會(huì)有熱量累積。無(wú)外殼變形，可以處理整個(gè)粘接面(包括膠槽底部和側(cè)壁）等離子體清洗機(jī)的表面改性利用等離子體中的高能活性粒子轟擊材料表面，賦予其表面

• 等離子清洗機(jī)對(duì)光學(xué)鏡頭的清潔

  等離子處理機(jī)不但可以進(jìn)行表面清洗，提高表面活性，等離子體清洗機(jī)與物體表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)能夠產(chǎn)生活性化學(xué)集團(tuán)，應(yīng)用范圍很廣，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，邦定性，親水性等等很多方面。等離子處理機(jī)不但可以進(jìn)行表面清洗，而且重要的是可以提高表面活性，等離子體與物體表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)能夠產(chǎn)生活性化學(xué)集團(tuán)，應(yīng)用范圍很廣，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，邦定性，親水性等等很多方面。光學(xué)行業(yè)等離子