普旭真空泵安裝
(1)真空泵應(yīng)安裝在干燥、通風良好和清潔的場所。
(2)真空泵的環(huán)境溫度為5-40℃。
(3)真空泵應(yīng)水平安裝,其周圍應(yīng)留有充分的余地,便于日常檢查、維護保養(yǎng)。裝拆方便。
(4)接通電源后,電機轉(zhuǎn)向應(yīng)符合泵上轉(zhuǎn)向箭頭所示。
(5)連接被抽容器的管道應(yīng)清潔。無雜質(zhì)等異物,孔徑不應(yīng)小于泵口口徑,長度宜短,以保證其有足夠的通導(dǎo)能力,管道連接應(yīng)密封不漏。
(6)被抽氣體應(yīng)無顆粒狀固體進入泵腔。
(7)真空泵與前級泵連接應(yīng)裝彈性管以減少前級泵引起的震動。
(8)電氣設(shè)備必須有互鎖保護裝置,當前級泵停止工作時羅茨泵必須同時停止。
(9)小泵可以直接啟動,大泵須設(shè)啟動器。
詞條
詞條說明
真空泵的安裝1、安裝安裝場所寬闊、采光良好,空氣的相對濕度宜低,灰塵少,空氣清凈且通風良好。環(huán)境溫度:5—30攝氏度。環(huán)境壓力:大氣壓。預(yù)留保養(yǎng)空間,真空泵與墻之間至少須有1米以上距離,真空泵空間距離應(yīng)有1米以上,預(yù)留通道,以便維修保養(yǎng)。真空泵運作時,表面溫度可以達到72℃以上,小心燙傷。請確保真空泵的安放位置易于看見油位鏡。?2、配管、基礎(chǔ)主管路配管時,管路通徑不能小于真空泵的進氣法蘭
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
單級旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級旋片式真空泵適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,**出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。XD型旋片式真空泵工作環(huán)境溫度和吸入氣體溫度應(yīng)在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。3、真空泵葉片碎裂不會產(chǎn)生真空,需更換葉片
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