【工業(yè)真空泵】羅茨泵工作原理

時間：2021-10-05

羅茨泵工作原理

分子泵分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)*發(fā)展，分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。

干泵國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的*發(fā)展。在日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。

水環(huán)泵水環(huán)真空泵（簡稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機，稱為水環(huán)式壓縮機，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環(huán)泵初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到廣泛的應用。由于真空應用技術的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應用日益增多。如圖：在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)時，水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片接觸（實際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度）。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。

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詞條說明
【工業(yè)真空泵】使用真空泵的注意事項
使用真空泵的注意事項1.?正常運傳前，真空泵應先做一次試運轉(zhuǎn)，檢查真空泵有無異常振動及沖擊聲響。初次使用的真空泵還要測定真空泵的極限壓強，應符合技術規(guī)范。真空泵在*工作的條件下，真空泵溫不應**過70度。至于抽速的測定.由于比較復雜，一般不作檢查。2.?需要通冷卻水的機械真空泵.在開機前應先通冷卻水，然后再啟動。冷卻水的出口水溫不宜**過30度。3.?*安裝真空泵時，應檢
【壓縮機真空泵】移動式負壓真空站的作用及結構
移動式負壓真空站結構原理旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。旋片式真空泵是真空技術中較基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。旋片泵的抽速與入口壓
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旋片式真空泵的介紹旋片真空泵是以泵為主泵，以旋片真空泵為前級泵的串聯(lián)而成的。旋片真空泵選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片真空泵在使用時一定壓力下的抽氣速率低的缺點，并且同時保留了羅茨泵能*的工作，優(yōu)點有比較大抽氣速率等。因為旋片真空泵的結構緊湊、占地面積小，所以可以替代多臺機械式真空泵，因此旋片真空泵機組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設備的預抽，電真空半導體等
【真空泵廠家】普旭真空泵排除方法
普旭真空泵排除方法：?????（1）如泵的轉(zhuǎn)速不夠，且抽氣量是與泵的轉(zhuǎn)速成正比，則泵的抽氣量就會下降。這有兩種情況；一種情況是泵的轉(zhuǎn)速未配備好，也就是皮帶輪的直徑不合適，可換皮帶輪，改變皮帶輪的直徑；另一種情況可能是皮帶安裝不當、未張緊，皮帶打滑而降低了轉(zhuǎn)速，這可調(diào)節(jié)電機位置，使皮帶張到一定緊度。????&n