真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?
1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的真空和工作真空度。
真空度是指器件在無漏放氣時所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地真空度。真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣,如果工作真空度差,則可能出現(xiàn)電極被氧化及陰極激活欠佳的結(jié)果。但器件后封離時已基本上無漏放氣,器件內(nèi)的真空度就取決于排氣真空系統(tǒng)的真空度。
2、為獲得某一工作真空度所需的時間
這時間決定于真空系統(tǒng)抽速的大小。提高抽速可縮短這一時間。大的工作室顯然需要大的抽速。有時工作室雖然不大,但由于漏放氣嚴(yán)重,則真空系統(tǒng)也需要大的抽速,否則大量的漏放氣將大大降低真空度,使系統(tǒng)無法工作。
3、在被抽器件或工作室內(nèi)有合適的殘氣成分
實踐證明,單純提高和保證真空度及工作真空度是不夠的,還應(yīng)對殘余氣體成分有一定的要求。例如真空攝像器件,為了保持在一年壽命期內(nèi)靈敏度的降低不大于巧,要求器件內(nèi)的殘余氣體的含氧量應(yīng)不10-2Pa 耐高壓的真空開關(guān)管內(nèi),應(yīng)不含有碳?xì)浠衔锓肿拥鹊?。真空系統(tǒng)的殘氣成分,如系統(tǒng)中無其它氣源,則主要取決于泵的特性。
4、真空系統(tǒng)還必須結(jié)構(gòu)簡單、性能可靠、操作維護方便、價格便宜等
要滿足這些要求,必須從泵的選擇、管道尺寸的確定及布置、裝配工藝等多方面綜合考慮。上述這些基本要求經(jīng)常是相互聯(lián)系的。例如,由于真空系統(tǒng)總不免存在有微漏現(xiàn)象,故采用抽速大的泵比抽速小的泵能獲得較好的工作真空度,但大的泵價格貴,耗水、耗電多,故有合理選擇的問題。儀器和小型的真空系統(tǒng)宜選用微型真空泵,成本低、、噪音小,有的用戶選用流量較大的工業(yè)真空泵是不合適的。
5、自動化要求
隨著計算機技術(shù)的發(fā)展,用戶對真空系統(tǒng)的自動化要求也不斷提升。對于真空系統(tǒng),自動控制主要是對真空泵流量和真空度的調(diào)節(jié)。真空度常常通過調(diào)節(jié)真空泵流量、安裝節(jié)流閥、泄壓閥來控制。用節(jié)流的辦法能量損失大、產(chǎn)生額外噪音,好是直接調(diào)節(jié)真空泵的轉(zhuǎn)速。工業(yè)真空泵調(diào)速的方法有多種,主要分為兩類:類是電機轉(zhuǎn)速不變,通過附加裝置改變真空泵的轉(zhuǎn)速,如變速箱調(diào)速,二類是直接改變電機的轉(zhuǎn)速,如可控硅串級調(diào)速、變頻調(diào)速等。目前工業(yè)真空泵常用的方法是變頻調(diào)速,節(jié)能效果好,可實現(xiàn)無級調(diào)速,調(diào)速比大,調(diào)速精確,速度平穩(wěn)。
對于適用于小型真空系統(tǒng)的微型真空泵,過去主要采用降壓調(diào)速,降壓運行附帶的好處是有利于延長泵和電機壽命。如果泵的負(fù)載較大時,降壓后容易造成電機無法啟動,使電機溫度上升,產(chǎn)生安全隱患。目前**的國產(chǎn)“氣海”調(diào)速微型真空泵配置了進口無直流電機,自帶PWM(脈寬調(diào)制)線,能方便可靠地調(diào)節(jié)流量,能輸出電機轉(zhuǎn)速反饋信號(FG),能實時監(jiān)控電機工況,便于自動控制。還具有完善的自我保護功能,在泵卡死、過熱等意外情況下能自動停機。調(diào)速微型真空泵是小型真空系統(tǒng)自動化的理想之選。
總的說來,對于氣密性較好的真空系統(tǒng),如果沒有經(jīng)常性的放氣,內(nèi)部也沒有蒸氣源,則可采用較小的、真空度較好的泵。但是,如果系統(tǒng)的漏放氣較多,則必須用提高抽速的辦法來保證其工作真空度,這時應(yīng)采用較大抽速的泵,并盡可能增大管道流導(dǎo)
詞條
詞條說明
1工作原理利用體積減少壓力增加是里其樂真空泵運行的原理。這種靜態(tài)設(shè)計可以在真空,壓力和兩者結(jié)合的應(yīng)用中產(chǎn)生良好的效果。根據(jù)規(guī)格和構(gòu)造,真空度可達(dá)0.1mbar,流量從3到1535m3/hr;壓力可達(dá)1.5bar,流量從3到155m3/hr。當(dāng)同時應(yīng)用于真空和壓力時,可同時達(dá)到0.6bar的真空度和0.7bar的正壓。在圓柱體的泵腔內(nèi),轉(zhuǎn)子是偏心安裝的,緊靠**部幾乎與缸體接觸,轉(zhuǎn)子葉片安裝在眾多的轉(zhuǎn)
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旋片式真空泵使用說明:一.?首先在開箱時要檢查您所采購的旋片式真空泵在運輸過程中是否有損壞、是否符合使用要求。如您發(fā)現(xiàn)有所不理解,請馬上致電我公司銷售工程師二.?您在使用安裝調(diào)試旋片式真空泵前,請您仔細(xì)詳閱使用說明,嚴(yán)格按產(chǎn)品操作程序?qū)嵤?,并要注意先擰開加油螺塞從加油孔中加油至油標(biāo)2/3,后從進氣管孔內(nèi)加入少許泵油為加強泵腔內(nèi)潤滑。油位過低對排氣閥不能起封閉作用且影響真空度,過
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