單級(jí)旋片式真空泵-適用范圍
1、XD型單級(jí)旋片式真空泵適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。
2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。XD型旋片式真空泵工作環(huán)境溫度和吸入氣體溫度應(yīng)在5℃~40℃之間。
3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。
3、真空泵葉片碎裂不會(huì)產(chǎn)生真空,需換葉片。
4、查看真空泵油,真空泵油注入要適量,使用久了要換。嚴(yán)禁使用其他油類。
5、所抽吸的系統(tǒng)密封程度不滿足要求,容器泄露量過大。檢查排除。
6、泵油污染,需要換油。
詞條
詞條說明
旋片式真空泵使用說明:1、與泵聯(lián)接的管道不宜過長(zhǎng),且不宜小于泵的進(jìn)氣口徑。2、被抽氣體溫度不得**40℃,否則應(yīng)把氣體冷至常溫。3、含有較多塵埃的氣體則應(yīng)加以過濾,有腐蝕性及油起化學(xué)反應(yīng)之氣體則應(yīng)加氣體吸收及綜合裝置,如含水蒸氣過多,則應(yīng)加去濕裝置,以防止泵油弄臟,影響其真空性能及泵的使用壽命。4、泵云裝過程中油溫不能**70℃,在正常工作時(shí)應(yīng)聽到“嗒、嗒、嗒”之排氣聲,如有異聲或溫度驟升時(shí)應(yīng)停止
維護(hù)與保養(yǎng)1、潤(rùn)滑油的規(guī)范及換油步驟潤(rùn)滑油主要有三個(gè)作用:潤(rùn)滑、密封、冷卻。潤(rùn)滑作用:潤(rùn)滑油可以在泵蓋、轉(zhuǎn)子、葉片、泵體之間形成油膜,避免了相互間的直接接觸,減少摩擦。密封作用:潤(rùn)滑油產(chǎn)生的油膜能對(duì)真空泵起到密封作用,提高了真空泵的效率。冷卻作用:潤(rùn)滑油吸收了大量的圧縮熱,使壓縮過程接近于等溫壓縮,降低了真空泵的功率。另外:潤(rùn)滑油還能降低高頻壓縮所產(chǎn)生的噪音。?2、日常保養(yǎng)每日或每次運(yùn)轉(zhuǎn)
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時(shí)所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時(shí)所能維持的真空度。真空處理時(shí)往往要放出大量氣體,這時(shí)的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對(duì)器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會(huì)大量出氣
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
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