按性能特點和用途分類
(1)低真空泵
泵的壓力102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的
低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵
、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。
(2)中真空泵
壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的
有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵
以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。
(3)高真空泵
壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的
高真空泵有各種擴(kuò)散泵及分子泵等。
(4)高真空泵
壓力10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。高真空
泵主要有各種離子泵、低溫泵等。
按工作原理和結(jié)構(gòu)特點分類
(1)機(jī)械式容積真空泵
靠機(jī)械運(yùn)動使泵腔工作容積周期變化來實現(xiàn)抽氣作用的是
機(jī)核式容積真空泵。屬于這類泵的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)
式機(jī)械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這
類泵中除機(jī)械增壓泵外,一般均可單使用。
(2)射流式真空泵
沒**械運(yùn)動部件,主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空
的是射流式真空泵。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣
噴射泵、水噴射泵以及各種擴(kuò)散泵等。這類泵結(jié)構(gòu)簡單,
工作可靠,壽命長,易于維修,應(yīng)用比較普遍。
詞條
詞條說明
①主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。②前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強(qiáng)其臨界前級壓強(qiáng)的真空泵。如泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。③粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵,就是粗油泵。
旋片式真空泵常見故障如下:1.泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵,以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。2.泵溫太高。指低級排氣閥附近測得的高油溫過使用說明書值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降,并使泵油的飽和蒸汽壓升高,使泵的壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件容易老化;熱膨脹使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙縮小,特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙,影響泵運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵溫度太高,進(jìn)氣溫度太高,進(jìn)氣冷
旋片式真空泵常見故障如下:1.泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵,以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。2.泵溫太高。指低級排氣閥附近測得的高油溫過使用說明書值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降,并使泵油的飽和蒸汽壓升高,使泵的壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件容易老化;熱膨脹使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙縮小,特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙,影響泵運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵溫度太高,進(jìn)氣溫度太高,進(jìn)氣冷
【國產(chǎn)真空泵】普旭真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中的注意點
普旭真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中的注意點:????(1)運(yùn)轉(zhuǎn)中必須按照羅茨真空泵的技術(shù)規(guī)格使用,在正常情況下,羅茨真空泵的入口壓力在1330Pa以下,泵的大壓差不得其大允許壓差值。?????(2)注意電動機(jī)負(fù)荷和泵的各部位溫升,在正常運(yùn)轉(zhuǎn)情況下,泵的高溫升不得過40℃,高溫度不得過80℃。如果選用水環(huán)泵作為前級泵時,有時因兩
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