【上海真空泵的壓強(qiáng)】真空泵的壓強(qiáng)范圍

    壓強(qiáng)范圍


    真空泵種類 工作壓強(qiáng)范圍(Pa) 起動壓強(qiáng)(Pa)


    活塞式真空泵 1×105~1.3×102 1×105


    旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105


    水環(huán)式真空泵 1×105—2.7×103 1×105


    羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103


    渦輪分子泵1.3—1.3×10-5 1.3


    水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105


    油擴(kuò)散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10


    油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105


    分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105


    濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1


    鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2


    鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10



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