WOP-激光微加工一體化研發(fā)平臺(tái)-FemtoLAB

時(shí)間：2023-05-26作者：天津瑞利光電科技有限公司瀏覽：59

產(chǎn)品名稱：WOP-激光微加工一體化研發(fā)平臺(tái)-FemtoLAB

產(chǎn)品型號(hào)：FemtoLAB

產(chǎn)品介紹：FemtoLAB 是一款飛秒激光微加工工作站。需要為各種任務(wù)定制解決方案的科學(xué)實(shí)驗(yàn)室和研發(fā)部的好選擇。FemtoLAB 激光工作站提供亞微米分辨率的組合激光微加工工藝，可執(zhí)行多種應(yīng)用。

性能特點(diǎn)：

制造具有亞微米分辨率的復(fù)雜物體

高速高精度微加工

光束傳輸和功率控制效率高

工業(yè)級(jí)飛秒激光器

高性能檢流計(jì)掃描儀

物體運(yùn)動(dòng)與激光脈沖時(shí)空同步

*特的軟件界面控制所有硬件單元

參數(shù)：

產(chǎn)地：立陶宛

推薦材料：所有材料：玻璃、藍(lán)寶石、硅、陶瓷、金屬、塑料、光纖等。

激光：高功率**短脈沖紅外、綠光、紫外激光

樣本量：兼容較大 160 mm x 160 mm 的設(shè)計(jì)

較小特征尺寸：200納米

定位系統(tǒng)：XYZ 機(jī)械軸，定位精度 +- 0.3 μm，具有連續(xù)晶圓級(jí)圖案化

掃描系統(tǒng)：適用于所有激光波長(zhǎng)的振鏡系統(tǒng)

樣品處理：手動(dòng)與自動(dòng)對(duì)齊

尺寸（長(zhǎng) x 寬 x 高）：1500 × 1350 × 1400mm

重量：1100kg

電源：2x 220 VAC, 16 A


天津瑞利光電科技有限公司專注于激光器,光學(xué)檢測(cè)設(shè)備,精密定位及光學(xué)平臺(tái)等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

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