Meiritz-主動(dòng)氣動(dòng)懸架系統(tǒng)-MRZ-200

時(shí)間：2023-05-26作者：天津瑞利光電科技有限公司瀏覽：34

Meiritz-主動(dòng)氣動(dòng)懸架系統(tǒng)-MRZ-200

產(chǎn)品型號(hào)：MRZ-200

產(chǎn)品介紹：迄今為止，我們積累的知識(shí)已生產(chǎn)出 600 多種類(lèi)型的被動(dòng)隔振器。對(duì)我們的主動(dòng)隔振器的需求也在不斷增長(zhǎng)，尤其是在半導(dǎo)體等高精度制造。以MAPS系列為基礎(chǔ)，開(kāi)發(fā)出高性能合理的主動(dòng)氣動(dòng)懸架系統(tǒng)MRZ系列?？蓱?yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、電子顯微鏡、測(cè)量機(jī)等。

性能特點(diǎn)：

每個(gè)單元有兩個(gè)氣壓執(zhí)行器：垂直和水平，可以體驗(yàn)良好的隔振、準(zhǔn)確定位性能。

FB+FloorFF控制。

實(shí)現(xiàn)輕巧緊湊，省電，價(jià)格合理。

參數(shù)：

產(chǎn)地:日本

供給氣壓:0.6～0.8(潔凈干燥空氣)MPa

典型耗氣量:45-65l/min

較大耗氣量:120l/min

電源電壓:100～240(單相交流電，50/60Hz)V

較大功耗:120VA

環(huán)境溫度:0～40℃

相對(duì)濕度:35-85%RH

隔振方式:通過(guò)氣壓控制隔振

控制器尺寸:W435xD300xH118mm

控制器質(zhì)量:7.5kg


天津瑞利光電科技有限公司專(zhuān)注于激光器,光學(xué)檢測(cè)設(shè)備,精密定位及光學(xué)平臺(tái)等

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