無塵室分類的定義標(biāo)準(zhǔn)

時(shí)間：2025-01-01作者：深圳市金寶來科技有限公司瀏覽：149

無塵車間

為什么芯片制造業(yè)要使用無塵潔凈室？

許多人可能不知道，在將硅片放入芯片制造商之前，他們需要一個(gè)特別干凈的無塵室。單個(gè)晶體管比病毒小很多倍。一粒小灰塵會(huì)造成嚴(yán)重?fù)p壞，燃燒數(shù)百萬美元。為了降低這一風(fēng)險(xiǎn)，芯片制造商選擇將制造商放置在基本無灰塵的潔凈室中。杰斐然空氣過濾器將帶您探索無塵室的奧秘。

在芯片制造過程中，任何小顆粒都會(huì)對(duì)成品率產(chǎn)生很大的影響。若無塵潔凈室提高到較高水平，產(chǎn)量可大大提高。因此，芯片制造業(yè)的一項(xiàng)重要技術(shù)是無塵車間的清潔度，因此集成電路制造商投入大量精力改善無塵室環(huán)境，減少顆粒量。衣柜、衣服和無塵室的程序都有助于提高無塵室的質(zhì)量。嚴(yán)格的無塵室規(guī)則有助于隔離污染物，降低成品率。

無塵室有多干凈？

*初的無塵室是為醫(yī)院手術(shù)室建造的，可以控制術(shù)后空氣中感染的細(xì)菌污染。半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展后不久，工程師就意識(shí)到控制生產(chǎn)過程中污染物的重要性，因此在制造晶體管和集成電路時(shí)采用了無塵室技術(shù)。的羅伯特·諾伊斯制造的**個(gè)硅集成電路芯片顯示了許多顆粒污染物。

無塵室分類的定義標(biāo)準(zhǔn)：

按公制和英制組合。定義為*十級(jí)的無塵室是指直徑大于0的每立方英尺.5um小于10顆粒。一級(jí)無塵室必須達(dá)到每立方英尺，直徑大于0.5um少于一顆粒。0.25um集成電路芯片廠的*小圖形尺寸需要一級(jí)無塵室才能獲得高成品率。相比之下，在一個(gè)干凈的房子里，每立方英尺的直徑大于0.5um5萬顆粒。下圖顯示了不同等級(jí)無塵室每立方英尺空氣中的顆粒數(shù)量。

嚴(yán)格控制無塵室的溫度、濕度和氣壓：

無塵室的地板通常是一個(gè)非常高的孔框地板，這樣空氣就可以從天花板垂直流向制造和設(shè)備區(qū)域的底部區(qū)域。當(dāng)氣流返回?zé)o塵室時(shí)，大部分顆粒將通過顆?？諝膺^濾器去除。比100級(jí)（FED-STD-209E保持線性直線氣流，避免空氣干擾非常重要?？諝鈹_流將墻壁、天花板、桌子和工具表面的顆粒帶入空氣中，使顆粒不易靜止。但通過線性氣流后，空氣中的顆粒很快就會(huì)被氣流帶走。等級(jí)100是線性氣流和擾動(dòng)氣流的分界線，也是無塵室成本的重點(diǎn)。擾動(dòng)氣流的清潔度可達(dá)100級(jí)以下，其成本**線性氣流。


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