GALIL運動控制卡應用案例----涂膠/點膠機

時間：2022-11-04

GALIL運動控制卡應用案例----涂膠/點膠機

半導體的制造包括從硅晶體生長到最后的封裝一系列復雜的自動化操作。一般各個部件的封裝階段指的是圍繞一個硅摸具的兩個或更多的材質層間的接合與粘貼。我們關心的是這些層之間的粘性物質的粘貼過程。

這臺工業(yè)機床應用在芯片封裝材料的涂抹上(芯片封裝材料 —— Chip Encapsulation Material,CEM) 。當硅模具粘貼到封裝基座之后， CEM 液體涂抹過程可以在封裝芯片之間制造一個粘結層。液體的種類包括陶瓷粘合劑，導電及非導電環(huán)氧物質，熱接觸面材料，以及焊膏。

液體涂抹工藝需要至少兩個軸在一個坐標系內密切配合， *三個軸用來控制液體涂抹噴嘴的垂直位置， *四個軸帶動傳送帶， *五個軸控制液泵的液體流量 (圖1)。復雜的基座表面往往需要噴嘴軸偶合成三維結構。較其復雜的表面可能需要多加兩個軸在另一個坐標系中偶合，用來完成涂抹噴嘴軸的偏航控制。要達到精確的液體涂抹通常需要線性插補及電子齒輪運動模式。在這個應用實例中，我們將涉及到一個坐標系，4個運動控制軸外加一個控制流量的軸。盡管這是一個特例，但其中包含的信息亦可用在一般的液體涂抹應用中。

下面給出了運動控制系統(tǒng)的較基本要求：

⑴. 五個軸(XYZWE)

⑵. 預定的 XY 坐標路徑

⑶. 標粘合劑的量總保持一致(精確流量控制)

⑷. I/O

新載物盤傳感器(數字輸入)

載物盤到位傳感器(數字輸入)

載物盤空載傳感器(數字輸入)

液位監(jiān)測(模擬輸入)

液位低報警(模擬輸出)

XYZ 軸的正／反向限位(數字輸入)

W 軸的零點開關 (數字輸入)

(5). 標終端用戶界面

操作員輸入基座的深度

開始涂抹周期

監(jiān)測周期中機床狀態(tài)

控制器： DMC-1850

因為此應用中需要終端用戶界面，所以需要一臺**的 PC 機，加之需要對 5 軸控制，這使得 DMC-1850 PCI 總線控制器成為了較優(yōu)選擇。此外， DMC-1850 還為傳感器提供了光電隔離輸入，并為液面監(jiān)測提供了模擬輸入。

電機： BLM-N23-50-1000

為了達到免維護運行，我們選擇無刷電機。由于晶片定位機需要不到 0.3Nm 的連續(xù)轉矩，所以我們推薦使用 Galil 的 NEMA 23 #BLM-N23-50- 1000 無刷電機或者其他同等機。

電機上裝有一臺每轉 1000 脈沖的增量編碼器，積分后每轉產生 4000 個脈沖。由于增量編碼器為輸入信號提供了通向放大器的交換通道，電機上不許要安裝 Hall 傳感器。

放大器： AMP-19540

為了驅動 X，Y，Z 和 W 軸電機，我們選擇了非常緊湊的 AMP- 19540 ，它是臺無刷四軸放大器(每個軸的驅動能力為 500W)。*五軸液泵需要有一個獨立的驅動設備，因此它通過 ICM-2900 和 CB-50- 100 與控制器相連。它們用來擴展 5-8 軸控制器上的* 5 到 8 軸。

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詞條
詞條說明
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? ? ? 光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經常應用于數控機床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應速度快的特點。例如，在數控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個補償刀具的運動誤差的作用。光柵尺按照制
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