plasma等離子清洗機設備的原理及應用

時間：2018-09-15作者：煙臺金鷹科技有限公司瀏覽：740

1何謂plasma等離子清洗機設備  
plasma等離子清洗機設備采用氣體作為清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。plasma等離子清洗機設備外接一臺真空泵，工作時清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，短時間的清洗就可以使**污染物被地清洗掉，同時污染物被真空泵抽走，其清洗程度達到分子級。等離子清洗器除了具有**清洗功能外，在特定條件下還可根據需要改變某些材料表面的性能，等離子體作用于材料表面，使表面分子的化學鍵發(fā)生重組，形成新的表面特性。對某些有特殊用途的材料，在**清洗過程中plasma等離子清洗機設備的輝光放電不但加強了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。等離子清洗器廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫(yī)學、微觀流體學等領域。 
plasma等離子清洗機設備的應用，起源于20世紀初，隨著高科技產業(yè)的快速發(fā)展，其應用越來越廣，目前已在眾多高科技領域中，居于關鍵技術的地位，等離子清洗技術對產業(yè)經濟和人類文明影響大，**電子資訊工業(yè)，尤其是半導體業(yè)與光電工業(yè)。 
plasma等離子清洗機設備已應用于各種電子元件的制造，可以確信，沒有等離子清洗機及其清洗技術，就沒有今日這么發(fā)達的電子、資訊和通訊產業(yè)。此外，等離子清洗機及其清洗技術也應用在光學工業(yè)、機械與航天工業(yè)、高分子工業(yè)、污染防治工業(yè)和量測工業(yè)上，而且是產品提升的關鍵技術，比如說光學元件的鍍膜、延長模具或加工工具壽命的抗磨耗層，復合材料的中間層、織布或隱性鏡片的表面處理、微感測器的制造，**微機械的加工技術、人工關節(jié)、骨骼或心臟瓣膜的抗摩耗層等皆需等離子技術的進步，才能開發(fā)完成。 
等離子技術是一新興的領域，該領域結合等離子物理、等離子化學和氣固相界面的化學反應，此為典型的高科技產業(yè)，需跨多種領域，包括化工、材料和電機，因此將具挑戰(zhàn)性，也充滿機會，由于半導體和光電材料在未來得快速成長，此方面應用需求將越來越大。 
2 、等離子清洗機的技術原理
2.1 什么是等離子體 
等離子體是物質的一種存在狀態(tài)，通常物質以固態(tài)、業(yè)態(tài)、氣態(tài)3種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下可以以*四中狀態(tài)存在，如太陽表面的物質和地球大氣中電離層中的物質。這類物質所處的狀態(tài)稱為等離子體狀態(tài)，又稱位物質的*四態(tài)。
等離子體中存在下列物質。處于高速運動狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；分子解離反應過程中生成的紫外線；未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
一、金屬表面去油及清潔 
      金屬表面常常會有油脂、油污等**物及氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。 在這種情況下的等離子處理會產生以下效果：
1.1灰化表面**層
－表面會受到化學轟擊（氧下圖）
 －在真空和瞬時高溫狀態(tài)下，污染物部分蒸發(fā)
－污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出
－紫外輻射破壞污染物
因為等離子處理每秒只能穿透幾個納米的厚度，所以污染層不能太厚。指紋也適用。
1.2氧化物去除
金屬氧化物會與處理氣體發(fā)生化學反應（下圖）
 
這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物。有時也采用兩步處理工藝。第一步先用氧氣氧化表面5分鐘，第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以同時用幾種氣體進行處理。
1.3焊接
通常，印刷線路板在焊接前要用化學助焊劑處理。在焊接完成后這些化學物質必須采用等離子方法去除，否則會帶來腐蝕等問題。
1.4鍵合
好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過等離子方法有選擇地去除。同時氧化層對鍵合的質量也是有害的，也需要進行等離子清潔。
二、等離子刻蝕
在等離子刻蝕過程中，通過處理氣體的作用，被刻蝕物會變成氣相（例如在使用氟氣對硅刻蝕時，下圖）。處理氣體和基體物質被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來（例如半導體行業(yè)用鉻做覆蓋材料）。 
 
等離子方法也用于刻蝕塑料表面，通過氧氣可以灰化填充混合物，同時得到分布分析情況?？涛g方法在塑料印刷和粘合時作為預處理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤濕面積。
三、刻蝕和灰化
PTFE刻蝕
PTFE在未做處理的情況下不能印刷或粘合。眾所周知，使用活躍的堿性金屬可以增強粘合能力，但是這種方法不容易掌握，同時溶液是有毒的。使用等離子方法不僅僅保護環(huán)境，還能達到好效果。（下圖） 
        
等離子結構可以使表面大化，同時在表面形成一個活性層，這樣塑料就能夠進行粘合、印刷操作。 
      
PTFE混合物的刻蝕
PTFE混合物的刻蝕必須十分仔細地進行，以免填充物被過度暴露，從而削弱粘合力。
     
處理氣體可以是氧氣、氫氣和氬氣。可以應用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。 
四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清潔
塑料、玻璃、陶瓷與聚丙烯、PTFE一樣是沒有性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進行處理。同時，玻璃和陶瓷表面的輕微金屬污染也可以用等離子方法清潔。等離子處理與灼燒處理相比不會損害樣品。同時還可以十分均勻地處理整個表面，不會產生有毒煙氣，中空和帶縫隙的樣品也可以處理。     
等離子表面處理的效果可以簡單地用水來驗證，處理過的樣品表面完全被水潤濕。長時間的等離子處理（大于15分鐘），材料表面不但被活化還會被刻蝕，刻蝕表面具有大潤濕能力。常用的處理氣體為：空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF4等
五、等離子涂鍍
聚合
            
在涂鍍中兩種氣體同時進入反應艙，氣體在等離子環(huán)境下匯聚合。這種應用比活化和清潔的要求要嚴格一些。典型的應用是保護層的形成，應用于燃料容器、防刮表面、類似PTFE材質的涂鍍、涂鍍等。涂鍍層非常薄，通常為幾個微米，此時表面的親和力非常好。

真空等離子清洗機/大氣等離子處理機有幾種稱謂，又稱低溫等離子體處理機,等離子處理器,等離子處理儀,低溫等離子表面處理機,等離子處理設備，等離子體處理設備，電漿清洗機，電漿處理機，plasma處理機，plasma清洗機，等離子清洗器，等離子清洗儀，等離子刻蝕機，等離子去膠機，等離子體清洗機，等離子體清洗器，等離子體清洗設備。小型、中型及大型等離子表面處理設備廣泛應用于實驗室及工業(yè)生產等場合。工作原理是通過其等離子處理技術，改善材料表面潤濕能力，等離子體清洗機使材料能夠進行涂覆、涂鍍、灰化等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除**污染物、油污或油脂。

等離子清洗-等離子處理-等離子刻蝕-等離子去膠-等離子活化-等離子體表面處理

應用領域包括：

 > 半導體集成電路及微電子產業(yè)

 > LCD液晶/LED封裝,PCB線路板制造

 > 等離子清洗機生物醫(yī)療材料表面改性修飾

 > 精密儀器、機械及電氣制造 

 > 等離子處理機聚合物薄膜、紡織纖維改性處理

 > APR大氣等離子清洗機手機觸摸屏、平板電腦玻璃蓋板清洗活化

 > 等離子表面處理器用于汽車制造、橡膠塑料產業(yè)


煙臺金鷹科技有限公司專注于等離子處理機,等離子處理機廠家,等離子處理機價格等, 歡迎致電 13573547231

• 詞條

  詞條說明

• 等離子清洗機提高粘結力，吸水能力

  等離子清洗機采用氣體作為清洗成分，可合理的避免液體清洗成分對清洗東西的二次污染，等離子清洗機可以短時間清洗分析化學環(huán)境污染成分。等離子體清洗機作用于原材料表面，重大資產重組原材料表面分子式的離子鍵，造成新的表面特性。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離

• 等離子清洗機提高粘接性、表面改質處理

  等離子清洗機提高各種材料的粘接性、表面改質處理等離子清洗機應用于汽車制造涂裝烤漆前預處理，液晶玻璃表面清洗，電路板印刷，電鍍，除油污代替化學處理等等眾多領域。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理

• 等離子清洗機應用于LCD行業(yè)

  等離子清洗機在LCD行業(yè)的運用在玻璃基板（LCD）上安裝裸芯片IC（裸芯片IC）的COG工藝中，當芯片在高溫下粘結硬化時，基板涂層的成分沉淀在粘結填料的表面。有時，銀漿和其他連接劑溢出來污染粘合填料。如果在熱壓結合工藝前采用等離子清洗機去除這些污染物，可大大提高熱壓結合的質量。此外，由于提高了裸芯片的基板與IC表面之間的潤濕性，LCD-COG模塊的鍵合緊密性也得以提高，并且線路腐蝕問題也得以減少。

• 電漿清洗機LED制作過程中存在的問題

  等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態(tài)，也叫做物質的*四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性