ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200

    天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200

    ? 品牌名稱:ALNAIR

    ? 規(guī)格型號:SIT-200

     

    產(chǎn)品介紹

    用于硅晶片的全光學(xué)非接觸式厚度傳感器

    高動態(tài)范圍,能夠測量混亂的表面

    能夠在濕蝕刻過程中進(jìn)行原位測量

    SIT-200使用高速掃頻可調(diào)激光器(而不是寬帶光源)來探測被測晶片。這樣就可以對每個波長進(jìn)行較高功率的測量,從而實(shí)現(xiàn)高動態(tài)范圍。即使在未拋光的晶片上,例如在濕蝕刻期間/之后,也可以進(jìn)行厚度測量。硅晶圓厚度傳感器由準(zhǔn)確調(diào)諧的波長掃描激光源,聚焦傳感器和光接收器(PD)構(gòu)成。波長掃描光聚焦在目標(biāo)上,并且在通過傳感器后,PD會檢測到從目標(biāo)表面反射回來的干涉圖樣。

    產(chǎn)品參數(shù)

    測量對象:硅片

    可測厚度:10~500(n = 3.5)μm

    光源:波長掃描激光源

    1515~1585)nm

    光輸出功率:0.6,激光等級1 mW

    引導(dǎo)光源:紅色LD,激光等級1M

    測量時(shí)間:min.20 ms

    重復(fù)性:小于0.1(3σ)μm

    監(jiān)控輸出:干擾信號(電氣)

    PC接口:以太網(wǎng)

    電源:AC 100-240(50/60 Hz)V

    尺寸(寬x高x深):364 x 147 x 391 mm

    重量:9.0 kg

       天津瑞利光電科技有限公司于2016年成立,坐落于渤海之濱天津,地理位置得天*厚,交通運(yùn)輸便利,進(jìn)出口貿(mào)易發(fā)達(dá)。憑借著歐洲的采購中心,我們始終為客戶提供歐美工業(yè)技術(shù)、高新科技等發(fā)達(dá)國的光電設(shè)備、光學(xué)儀器、機(jī)電設(shè)備及配件、電氣成套設(shè)備、工業(yè)自動化控制設(shè)備產(chǎn)品,同時(shí)擁有多個品牌的授權(quán)經(jīng)銷和代理權(quán)。

     

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    詞條說明

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