日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器

    天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)銷日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器

    ? 品牌名稱:ALNAIR

    ? 規(guī)格型號(hào):SIT-200

     

    產(chǎn)品介紹

    用于硅晶片的全光學(xué)非接觸式厚度傳感器

    高動(dòng)態(tài)范圍,能夠測(cè)量混亂的表面

    能夠在濕蝕刻過程中進(jìn)行原位測(cè)量

    SIT-200使用高速掃頻可調(diào)激光器(而不是寬帶光源)來探測(cè)被測(cè)晶片。這樣就可以對(duì)每個(gè)波長(zhǎng)進(jìn)行較高功率的測(cè)量,從而實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)范圍。即使在未拋光的晶片上,例如在濕蝕刻期間/之后,也可以進(jìn)行厚度測(cè)量。硅晶圓厚度傳感器由準(zhǔn)確調(diào)諧的波長(zhǎng)掃描激光源,聚焦傳感器和光接收器(PD)構(gòu)成。波長(zhǎng)掃描光聚焦在目標(biāo)上,并且在通過傳感器后,PD會(huì)檢測(cè)到從目標(biāo)表面反射回來的干涉圖樣。

    產(chǎn)品參數(shù)

    測(cè)量對(duì)象:硅片

    可測(cè)厚度:10~500n = 3.5)μm

    光源:波長(zhǎng)掃描激光源

    1515~1585nm

    光輸出功率:0.6,激光等級(jí)1 mW

    引導(dǎo)光源:紅色LD,激光等級(jí)1M

    測(cè)量時(shí)間:min.20 ms

    重復(fù)性:小于0.13σ)μm

    監(jiān)控輸出:干擾信號(hào)(電氣)

    PC接口:以太網(wǎng)

    電源:AC 100-24050/60 HzV

    尺寸(寬xx深):364 x 147 x 391 mm

    重量:9.0 kg

       天津瑞利光電科技有限公司于2016年成立,坐落于渤海之濱天津,地理位置得天*厚,交通運(yùn)輸便利,進(jìn)出口貿(mào)易發(fā)達(dá)。憑借著歐洲的采購中心,我們始終為客戶提供歐美工業(yè)技術(shù)、高新科技等發(fā)達(dá)國(guó)的光電設(shè)備、光學(xué)儀器、機(jī)電設(shè)備及配件、電氣成套設(shè)備、工業(yè)自動(dòng)化控制設(shè)備產(chǎn)品,同時(shí)擁有多個(gè)品牌的授權(quán)經(jīng)銷和代理權(quán)。

     

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    天津瑞利光電科技有限公司專注于激光器,光學(xué)檢測(cè)設(shè)備,精密定位及光學(xué)平臺(tái)等

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