MEMS傳感器篇

時(shí)間：2020-08-25作者：深圳揚(yáng)德勝科技有限公司瀏覽：45

傳感器發(fā)展到今天，小型化、智能化、集成化，已經(jīng)是升級(jí)換代的必由之路。今天，我們來(lái)為大家介紹一下傳感器家族的小型產(chǎn)品——MEMS傳感器。

MEMS的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng)（Micro-ElectroMechanical System），微機(jī)電系統(tǒng)是指可批量制作的，將微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器，MEMS是用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來(lái)的一種**的制造技術(shù)，學(xué)科交叉現(xiàn)象較其明顯，主要涉及微加工技術(shù)，機(jī)械學(xué)/固體聲波理論，熱流理論，電子學(xué)、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等等。經(jīng)過(guò)四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一，用MEMS工藝制造傳感器、執(zhí)行器或者微結(jié)構(gòu)， 具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生產(chǎn)等特點(diǎn)，產(chǎn)能高，良品率高。MEMS技術(shù)使數(shù)以萬(wàn)計(jì)的MEMS芯片（有些工藝也會(huì)把集成電路芯片放在同一步驟加工）出現(xiàn)在了每一片wafer上面，這種批量生產(chǎn)的過(guò)程目前已經(jīng)全自動(dòng)化控制，隔離了人為因素，確保了每一個(gè)MEMS芯片之間的工藝誤差可以得到嚴(yán)格的控制，從而提高了良品率。切片、封裝之后，就成為了一個(gè)個(gè)的MEMS芯片。從外觀上來(lái)看，大部分的MEMS芯片和集成電路芯片是差不多的，微米量級(jí)的特征尺寸使MEMS傳感器可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。是微型傳感器的主力軍，正在逐漸取代傳統(tǒng)機(jī)械傳感器，普遍應(yīng)用于消費(fèi)電子產(chǎn)品、汽車(chē)工業(yè)、航空航天、機(jī)械、化工及醫(yī)藥等各領(lǐng)域。常見(jiàn)產(chǎn)品有壓力傳感器，加速度計(jì)，陀螺，靜電致動(dòng)光投影顯示器，DNA擴(kuò)增微系統(tǒng)，催化傳感器。

?MEMS傳感器的分類
MEMS傳感器不僅能夠感知被測(cè)參數(shù)，將其轉(zhuǎn)換成方便度量的信號(hào)；而且能對(duì)所得到的信號(hào)進(jìn)行分析、處理和識(shí)別、判斷，因此形象地被稱為智能傳感器。?
MEMS傳感器的種類繁多，也有很多分類的方法。下面是按照工作原理分類：

每一種MEMS傳感器又有很多種細(xì)分方法。如加速度計(jì)，按檢測(cè)質(zhì)量的運(yùn)動(dòng)方式劃分，有角振動(dòng)式和線振動(dòng)式加速度計(jì)等，常見(jiàn)的MEMS傳感器有壓力傳感器、加速度傳感器、微機(jī)械陀螺儀、慣性傳感器、MEMS硅麥克風(fēng)等等;MEMS傳感器的品種多到可以以萬(wàn)為單位，且不同MEMS之間參量較多，沒(méi)有完全標(biāo)準(zhǔn)的工藝，MEMS傳感器作為**競(jìng)爭(zhēng)戰(zhàn)略的重要標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)，以其技術(shù)含量高、市場(chǎng)前景廣闊等特點(diǎn)備受**的關(guān)注。近十年來(lái)，中國(guó)MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)也正逐步完善，從研發(fā)、設(shè)計(jì)、代工、封測(cè)到應(yīng)用，完整產(chǎn)業(yè)鏈已基本形成，國(guó)家對(duì)MEMS傳感器行業(yè)也給予了**的政策支持。我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨了重大的機(jī)遇，特別是移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，將對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響，并將催生大量新的產(chǎn)品、新的應(yīng)用，帶動(dòng)MEMS產(chǎn)品在日常生活及工業(yè)生產(chǎn)中的普及化，希望看了這篇文章后，對(duì)大家能有幫助，更多有關(guān)于傳感器知識(shí)，請(qǐng)大家關(guān)注深圳揚(yáng)德勝科技有限公司，更多較全的傳感器知識(shí)等著你！


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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 電容式傳感器的分類

  電容式傳感器是以各種類型的電容器作為傳感元件，將被測(cè)物理量或機(jī)械量轉(zhuǎn)換成為電容量變化的一種轉(zhuǎn)換裝置，實(shí)際上就是一個(gè)具有可變參數(shù)的電容器。電容式傳感器廣泛用于位移、角度、振動(dòng)、速度、壓力、成分分析、介質(zhì)特性等方面的測(cè)量。較常用的是平行板型電容器或圓筒型電容器，70年代末以來(lái)，隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了與微型測(cè)量?jī)x表封裝在一起的電容式傳感器。這種新型的傳感器能使分布電容的影響大為減小，使其固有的

• 壓阻傳感器的原理及特點(diǎn)

  任何的金屬和半導(dǎo)體都有壓阻效應(yīng)，只是強(qiáng)弱不一樣而已，一般的壓阻傳感器較簡(jiǎn)單的就是壓阻材料和接口電路，例如參雜的硅就有壓阻效應(yīng)，根據(jù)拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)可以有單橋，雙橋，全橋。壓阻壓力傳感器的工作原理是當(dāng)外界壓力作用于器件時(shí)產(chǎn)生的應(yīng)變使得材料的電阻率發(fā)生變化，進(jìn)而使得外接接口電路測(cè)得的電壓發(fā)生變化，找到電壓與壓力的關(guān)系就可以用于測(cè)量壓力，下面就由小編講一下壓阻式壓力傳感器的原理和特點(diǎn)吧！ 壓力傳感器的種類繁多，

• 洗衣機(jī)水位傳感器你知道有什么作用嗎？

  提起水位傳感器，大家首先想到的就是洗衣機(jī)水位傳感器，其實(shí)水位傳感器的應(yīng)用比較廣泛，在水廠、水箱、太陽(yáng)能熱水器等對(duì)液體靜態(tài)、動(dòng)態(tài)的監(jiān)測(cè)中都能發(fā)現(xiàn)它的身影。為了大家對(duì)水位傳感器有一個(gè)較為全面的了解，接下來(lái)，小編將給大家介紹一下水位傳感器原理及應(yīng)用。 水位傳感器也就是一種測(cè)量水位的壓力傳感器．他采用的是國(guó)外**的隔離型擴(kuò)散硅敏感元件或陶瓷電容壓力敏感傳感器，將靜壓轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，然后再經(jīng)過(guò)溫度補(bǔ)償和線性

• 柔性傳感器分哪幾種

  作為傳感器界的"元老"，壓力傳感器是其領(lǐng)域內(nèi)的重要組成。而柔性壓力傳感器具有出色的機(jī)械和電氣特性，例如高靈活性，高靈敏度，高分辨率和快速響應(yīng)等，因此具有廣泛的應(yīng)用，根據(jù)壓力傳感器的工作機(jī)制，可以將其大致分為以下幾類：壓阻式、電容式、壓電式 壓阻式柔性壓力傳感器 壓阻式柔性壓力傳感器基于壓阻效應(yīng)的傳感器在外力作用下活性材料會(huì)變形，并間接改變內(nèi)部導(dǎo)電材料的分布和接觸狀態(tài)，從而導(dǎo)致活性材料的電阻有規(guī)律